Esse trabalho descreve o desenvolvimento de um sistema de monitoramento de microinclinação capaz de posicionar peças ou outros dispositivos em máquinas precisão e ultra-precisão. A inclinação da mesa tem acionamento através de microposicionadores (por exemplo, atuadores piezoelétricos) cujo deslocamento é monitorado por um interferômetro de Fizeau. A imagem da peça é analisada usando a técnica de crescimento de regiões, a qual calcula o número e a direção das franjas. O algoritmo é aplicado para fornecer o sinal de realimentação para os atuadores para a correção da posição da mesa. Este procedimento pode ser usado para componentes de usinagem de ultra-precisão e para o controle durante o processo obtendo alto nível de precisão em usinagem de ultra-precisão

This work describes the development of a micro-tilt stage monitoring system capable of positioning a workpiece on a diamond tuming (grinding) machine. The micro-tilt sta^e will be driven by micropositioners (possibly piezoelectric actuators)whose displacement are monitored (closed loop system) by a Fizeau interferometer. The workpiece interference image is analysed using region growing techniques which deliver the number and direction of fringes. Having this information an appropriate algorithm is applied to provide convenient feedback signals to the actuators to correct the workpiece position. This procedure can be used to preset components for ultraprecision machining and, forseeably, for in-process control in order to obtain the required high leveis of precision on precision machines.