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Disertación de Maestría
DOI
10.11606/D.3.2011.tde-11082011-125646
Documento
Autor
Nombre completo
Fábio Belotti Colombo
Dirección Electrónica
Instituto/Escuela/Facultad
Área de Conocimiento
Fecha de Defensa
Publicación
São Paulo, 2011
Director
Tribunal
Paez Carreño, Marcelo Nelson (Presidente)
Fruett, Fabiano
Silva, Emílio Carlos Nelli
Título en portugués
Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares.
Palabras clave en portugués
Autômatos celulares
Processos de microeletrônica
Sistemas microeletromecânicos
Softwares (simulação)
Resumen en portugués
O presente trabalho teve como foco o desenvolvimento de um software para a simulação de processos de microfabricação em substrato e de microfabricação em superfície baseado em autômatos celulares, o simMEMS. Além disso, visando a futura incorporação de ferramentas para análise das estruturas geradas pelo programa, um módulo com funcionalidades básicas para a análise mecânica de estruturas também foi desenvolvido. No que tange à microfabricação em superfície, o software desenvolvido permite simular a corrosão anisotrópica úmida do Si em KOH e deep reactive ion etching (DRIE). O simulador de corrosão úmida utiliza um autômato celular conhecido como BCA. O simulador de DRIE usa um autômato próprio. Para a simulação dos processos de microfabricação em superfície o software fornece quatro processos: deposição de filmes, corrosão de filmes, fotolitografia e planarização. Para corrosão e deposição de filmes, diversos autômatos celulares da literatura foram analisados e os resultados dessas análises é aqui apresentado. Todos os simuladores, tanto de microfabricação em superfície como em substrato, podem ser utilizados em conjunto. Isso torna o software bastante útil e capaz de simular a fabricação de um grande número de dispositivos.
Título en inglés
Development of a atomistic microfabrication simulation software based on celullar automata.
Palabras clave en inglés
Cellular automata
MEMS
Microfabrication processes
Simulation
Software
Resumen en inglés
The main goal of this project is the development of a software capable of simulating both surface and bulk micromachining based on a cellular automata approach. This software has been called simMEMS. In order to enable future versions of the software to also be able to analyze the structures created by the software, a module capable of running a mechanical analysis through the finite element method is also developed. simMEMS allows the user to simulate two bulk micromachining processes: wet anisotropic KOH etching and deep reactive ion etching DRIE. The wet etching simulator uses a cellular automaton known as BCA. The DRIE simulator uses an automaton developed during this project. The surface micromachining simulator allows the user to simulate four types of processes: photolithography, film deposition, film etching and substrate planarization. Several automata for the deposition and etching of films are studied and the results of this study are presented here. All processes, be they for surface or bulk micromachining, can be used on the same substrate to simulate the entire fabrication process for a large array of devices. This makes simMEMS a very useful software.
 
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Este documento es únicamente para usos privados enmarcados en actividades de investigación y docencia. No se autoriza su reproducción con finalidades de lucro. Esta reserva de derechos afecta tanto los datos del documento como a sus contenidos. En la utilización o cita de partes del documento es obligado indicar el nombre de la persona autora.
Fecha de Publicación
2011-09-05
 
ADVERTENCIA: El material descrito abajo se refiere a los trabajos derivados de esta tesis o disertación. El contenido de estos documentos es responsabilidad del autor de la tesis o disertación.
  • TSUDA, F., et al. 3D Simulation Software for Visualization of MEMS Microfabrication Processes [doi:10.1149/1.2956023]. ECS Transactions [online], 2008, vol. 14, p. 99-108.
  • COLOMBO, F. B., et al. 3D Simulation Software for Visualization of MEMS Microfabrication Processes [doi:10.1149/1.2956023]. In 23rd Symposium on Microelectronics Technology and Devices, SBMicro 2008, Gramado, 2008. Microelectonics Technology and Devices - SBMicro 2008. : Electrochemical Society, 2008.
  • COLOMBO, F. B., e Carreño, M.N.P. A Multi-Process Microfabrication Simulator based on Cellular Automata [doi:10.1149/1.3474147]. In 25th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2010), São Paulo, 2010. ECS Transactions : Microelectonics Technology and Devices - SBMicro 2010, 2010.., 2010.
  • KOMORI, F.S., COLOMBO, F. B., e Carreño, M.N.P. Cube A Knowledge Extraction System. In 4º Workshop de Tecnologia Adaptativa, WTA 2010, São Paulo, 2010. Anais do 4º Workshop de Tecnologia Adaptativa, WTA 2010., 2010.
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