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Mémoire de Maîtrise
DOI
10.11606/D.43.1999.tde-19062015-165612
Document
Auteur
Nom complet
Marcilei Aparecida Guazzelli da Silveira
Adresse Mail
Unité de l'USP
Domain de Connaissance
Date de Soutenance
Editeur
São Paulo, 1999
Directeur
Jury
Salvadori, Maria Cecilia Barbosa da Silveira (Président)
Faria, Roberto Mendonça
Quivy, Alain Andre
Titre en portugais
Medidas de expoentes críticos de filmes de diamante por meio de microscopia de força atômica
Mots-clés en portugais
Expoentes críticos
Filmes de diamante
KPZ
Leis de escala
Microscopia de força atômica
Resumé en portugais
Neste trabalho investigamos a dinâmica de crescimento de filmes de diamante sintetizados por meio de deposição química a vapor ativada por plasma de microondas (CVD). A caracterização foi feita utilizando, fundamentalmente, microscopia de força atômica (AFM). Analisamos o comportamento da rugosidade dos filmes como função da escala de observação e do tempo de deposição. Dessa maneira verificamos a existência de leis de potência para o crescimento e determinamos os expoentes críticos associados a essas leis. Os resultados obtidos estão em bom acordo com o processo de crescimento descrito pela equação estocástica KPZ. Os mecanismos principais são a deposição aleatória de partículas na superfície, o crescimento lateral e a dessorção.
Titre en anglais
Measures of critical exponents of diamond films using atomic force microscopy
Mots-clés en anglais
Atomic force microscopy
Critical exponents
Diamond films
KPZ
Scale laws
Resumé en anglais
Diamond films have been grown by Microwave Plasma assisted Chemical Vapor Deposition (CVD). The characterization has been made mainly by Atomic Force Microscopy (AFM). We could analyze the roughness behavior with the scale of observation and with the deposition time. We could determine the critical exponents associated with these laws. The results suggest that the growth process is in good agreement with the stochastic growth equation known as KPZ. The most important mechanisms are the random deposition, the lateral growth and the desorption.
 
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Silveira_1999.pdf (6.97 Mbytes)
Date de Publication
2015-06-22
 
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