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Dissertação de Mestrado
DOI
10.11606/D.43.2010.tde-26012011-114805
Documento
Autor
Nome completo
Wagner Wlysses Rodrigues de Araujo
E-mail
Unidade da USP
Área do Conhecimento
Data de Defesa
Imprenta
São Paulo, 2010
Orientador
Banca examinadora
Salvadori, Maria Cecilia Barbosa da Silveira (Presidente)
Petri, Denise Freitas Siqueira
Santos, Antonio Domingues dos
Título em português
Modificação de superfície de diamante utilizando plasma e caracterização por kelvin force microscopy
Palavras-chave em português
Filmes finos
Física da matéria condensada
Potencial elétrico
Superfície física
Resumo em português
Neste trabalho nós produzimos e caracterizamos superfícies de diamante policristalino com áreas seletivas oxidadas e fluoradas a partir de superfícies originalmente hidrogenadas, usando um canhão de plasma para bombardear a superfície do diamante. A técnica que foi utilizada para a produção de filmes de diamante com superfícies hidrogenadas foi a deposição química a vapor por plasma de microondas. A seletividade de área para posterior oxidação foi realizada através de litografia por feixe de elétrons. A oxidação e a fluoração das áreas selecionadas foi feita por plasma de oxigênio e hexaflureto de enxofre, respectivamente. As caracterizações foram realizadas através de microscopia eletrônica de varredura convencional, microscopia de força atômica, Kelvin Force Microscopy e medida de ângulo de contato.
Título em inglês
Modification of diamont surface using plasma and characterization by kelvin force microscopy
Palavras-chave em inglês
Condensed matter physics
Electric potential
Physical surface
Thin films
Resumo em inglês
In this work we have formed and characterized polycrystaline diamond films with surfaces having hydrogen terminations, oxygen terminations, or fluorine terminations, using a plasma gun to bombard the diamond surface. The technique used for diamond films deposition with surfaces having hydrogen terminations was microwave plasma assisted chemical vapor deposition. The selected areas for oxidation and fluorination were prepared by electron beam lithography. The oxidation and fluorination of the selected areas were performed using oxygen and súlfur hexafluoride plasma, respectively. The samples were characterized by conventional scanning electron microscopy, atomic force microscopy, Kelvin force microscopy and contact angle measurement.
 
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Este trabalho é somente para uso privado de atividades de pesquisa e ensino. Não é autorizada sua reprodução para quaisquer fins lucrativos. Esta reserva de direitos abrange a todos os dados do documento bem como seu conteúdo. Na utilização ou citação de partes do documento é obrigatório mencionar nome da pessoa autora do trabalho.
AraujoWWR.pdf (14.36 Mbytes)
Data de Publicação
2011-02-11
 
AVISO: O material descrito abaixo refere-se a trabalhos decorrentes desta tese ou dissertação. O conteúdo desses trabalhos é de inteira responsabilidade do autor da tese ou dissertação.
  • Salvadori, M.C., et al. Termination of diamond surfaces with hydrogen, oxygen and fluorine using a small, simple plasma gun [doi:10.1016/j.diamond.2010.01.002]. Diamond and Related Materials [online], 2010, p. 324-328.
  • Salvadori, M. C., et al. Diamond surface modification using plasma. In 10th International Workshop on Plasma-Based Ion Implantation & Deposition, São José dos Campos, SP, Brasi, 2009. Abstracts of the 10th International Workshop on Plasma-Based Ion Implantation & Deposition., 2009. Abstract.
  • Salvadori, M.C., et al. Diamond surface with hydrogen, oxygen and fluorine terminations. In VIII Encontro sobre diamante, carbono amorfo, nanotubos de carbono e materiais relacionados, Aracajú, 2009. Resumos do VIII Encontro sobre diamante, carbono amorfo, nanotubos de carbono e materiais relacionados., 2009. Resumo.
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